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电子行业超纯水设备

2015-03-13 15:42

  电子行业超纯水设备简介

  超纯水(电子行业超纯水设备)是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水,如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。这种水中除了水分子(H20)外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素。超纯水,是一般工艺很难达到的程度,如水的电阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。目前,电子行业超纯水设备制备超纯水的方法通常采用反渗透,去离子或电去离子(EDI)等工艺。
 


 

  电子行业超纯水设备常规工艺

  1、采用离子交换方式,其流程如下:

  原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

  2、采用反渗透加离子交换方式,其流程如下:

  原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

  3、采用反渗透加EDI方式,其流程如下:

  原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→EDI系统→抛光混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

  电子行业超纯水设备产水水质标准

  中国国家电子行业超纯水设备规格GB/T1146.1-1997

级别 EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ
电阻率
MΩ·cm(25℃)
18
(95%时间)
不低于17
15
(95%时间)
不低于13
12.0 0.5
  2 10 50 1000
>1um微粒数,最大值 个/ml 0.1 5 10  
细菌数,最大值,个/mL 0.01 0.1 10 100
铜,最大值 ug/L 0.2 1 2 500
锌,最大值 ug/L 0.2 1 2 500
镍,最大值 ug/L 0.1 1 2 500
钠,最大值 ug/L 0.5 2 5 1000
钾,最大值 ug/L 0.5 2 5 500
氯,最大值 ug/L 1 1 10 1000
硝酸根,最大值 ug/L 1 1 10 500
磷酸根,最大值 ug/L 1 1 10 500
硫酸根,最大值 ug/L 1 1 10 500
总有机碳,最大值 ug/L 20 100 200 1000

  电子行业超纯水设备应用场合

  电子行业超纯水设备、电子工业超纯水设备适用在半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路,光学玻璃镀膜、光电子及光纤,超纯材料和超纯化学试剂,汽车、家电表面抛光处理,五金行业清洗用水,实验室和中试车间,其他高科技精微产品。

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