电子行业超纯水设备简介
超纯水(电子行业超纯水设备)是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水,如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。这种水中除了水分子(H20)外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素。超纯水,是一般工艺很难达到的程度,如水的电阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。目前,电子行业超纯水设备制备超纯水的方法通常采用反渗透,去离子或电去离子(EDI)等工艺。
电子行业超纯水设备常规工艺
1、采用离子交换方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
2、采用反渗透加离子交换方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3、采用反渗透加EDI方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→EDI系统→抛光混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
电子行业超纯水设备产水水质标准
中国国家电子行业超纯水设备规格GB/T1146.1-1997
级别 | EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ |
电阻率 MΩ·cm(25℃) |
18 (95%时间) 不低于17 |
15 (95%时间) 不低于13 |
12.0 | 0.5 |
2 | 10 | 50 | 1000 | |
>1um微粒数,最大值 个/ml | 0.1 | 5 | 10 | |
细菌数,最大值,个/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
铜,最大值 ug/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
锌,最大值 ug/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
镍,最大值 ug/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
钠,最大值 ug/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
钾,最大值 ug/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
氯,最大值 ug/L | 1 | 1 | 10 | 1000 |
硝酸根,最大值 ug/L | 1 | 1 | 10 | 500 |
磷酸根,最大值 ug/L | 1 | 1 | 10 | 500 |
硫酸根,最大值 ug/L | 1 | 1 | 10 | 500 |
总有机碳,最大值 ug/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
电子行业超纯水设备应用场合
电子行业超纯水设备、电子工业超纯水设备适用在半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路,光学玻璃镀膜、光电子及光纤,超纯材料和超纯化学试剂,汽车、家电表面抛光处理,五金行业清洗用水,实验室和中试车间,其他高科技精微产品。