电子行业超纯水设备

2015-03-13 15:42

　　电子行业超纯水设备简介

　　超纯水(电子行业超纯水设备)是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素。超纯水，是一般工艺很难达到的程度，如水的电阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。目前，电子行业超纯水设备制备超纯水的方法通常采用反渗透，去离子或电去离子(EDI)等工艺。
 

　　电子行业超纯水设备常规工艺

　　1、采用离子交换方式，其流程如下：

　　原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

　　2、采用反渗透加离子交换方式，其流程如下：

　　原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

　　3、采用反渗透加EDI方式，其流程如下：

　　原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→EDI系统→抛光混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

　　电子行业超纯水设备产水水质标准

　　中国国家电子行业超纯水设备规格GB/T1146.1-1997

　　电子行业超纯水设备应用场合

　　电子行业超纯水设备、电子工业超纯水设备适用在半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路，光学玻璃镀膜、光电子及光纤，超纯材料和超纯化学试剂，汽车、家电表面抛光处理，五金行业清洗用水，实验室和中试车间，其他高科技精微产品。