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上海半导体行业超纯水设备的工艺流程是什么?

2019-10-10 15:52

  现在半导体行业的生产对水质要求非常严格,上海半导体行业超纯水设备采用制水技术,保证设备出水水质符合行业用水需求。那么,上海半导体行业超纯水设备的工艺流程是什么?

  上海半导体行业超纯水设备的工艺流程

  1、预处理-反渗透-水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象。

  2、预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象。

  3、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象。

  4、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制抛光混床-TOC分解器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象。

  以上就是上海半导体行业超纯水设备的工艺流程,希望对大家有所帮助。

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