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上海集成电路超纯水设备的系统组件

2020-05-13 11:05

  上海集成电路超纯水设备的应用领域非常广泛,其主要由制备系统、控制系统、消毒系统和分配系统这四大系统装置组件组成。下面详细介绍下上海集成电路超纯水设备四大系统组件:

  1、制备系统:其两部分构成是预处理和反渗透脱盐,其中,预处理包括了活性炭过滤器和砂滤器,这减轻了后续的脱盐压力;而反渗透脱盐主要是二级反渗透装置,该装置是整个纯化水系统的核心,可确保出水的品质。

  2、控制系统:通过就地控制和集中控制相结合的控制方法进行控制,监控电导率、压力、水温等重要指标。

  3、消毒系统:通过板式换热器和紫外线杀菌进行巴氏消毒法。

  4、分配系统:由纯化水储罐和闭路循环管路系统构成的分配系统,其中纯化水储罐采用的是薄壁内外抛光而成的不锈钢罐。而循环管路采用的是强制循环供水,所用的管路都是采用卫生级不锈钢管制作,且连接处都是采用卡箍来连接,还有所有用水点的连接方式是以串联的方法进行。

  上海集成电路超纯水设备的每一个系统组件都有自己的职责,每个部分的功能和作用也有所不同。上海集成电路超纯水设备系统组件的分享就介绍到这里,欢迎参阅。

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